Gazla sterilize edilecek maddenin seçilmesine dikkat edilmelidir,çünkü bunun kendisi veya bileşimine giren madde etilen oksidle şimik reaksiyona girebilir. Meselâ bazı akrilik plastik maddeler, polystiren, bazı mercekli cihazlar ve ilaçlar etilen dioksidden zarar görebilir. Gaz sterilizasyonu normalde hafif yükseltilmiş basınç ve ısı altında olarak basınçlı kaplarda yani gaz otoklavlarında yapılır. Bir gaz otoklavında 55 derecelik sıcaklıkta ve 410 mm lik bir basınç altında (8 lb/sq atmosferik basıncın üstünde) %12 etilen bksid ve %88 dikloro-difluorometan (Freon 12) karışımı ile yapılan sterilizasyon l3/4 saat alır. Bıçak, batıcı aletler ve termometre gibi katı ve cam malzeme hemen sterilizasyonundan sonra kullanılabilir. Optik cihazlar, elbise, kâğıt, lastik ve diğer porlu malzeme , paketleri, mutad olarak kullanılmadan önce rafta tutmak suretiyle 24-48 saat havalandırılır. Bazı materyal türleri veya kardiak pacemaker gibi kompleks aletler kullanılmadan önce 7 gün havalandırılmayı gerektirirler.